中国科学院微电子研究所

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组()从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。