AE射频电源维修 射频发生器 中频电源 PE II 10K

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美国AE PE II 10K射频电源是Advanced Energy（AE）公司生产的一款射频电源，广泛应用于半导体制造、等离子镀膜、刻蚀（如RIE、PECVD、ICP）以及CVD和PVD系统中。‌

常见故障原因与初步排查方法

如果设备出现故障，可以先从以下方面进行简单检查（但复杂维修建议交由维修人员操作）：‌

‌电源线路问题‌：

检查电源插头、线路是否松动或损坏，使用万用表测量输入的电压是否稳定（如208V）。

‌散热与环境因素‌：

确保设备通风良好，避免灰尘堆积导致过热；环境温度过高或湿度过大可能引发故障。