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硅片是一种用于制造各种微电子元件的材料,通常为圆形薄片,直径从几毫米到300毫米不等,厚度约为0.5毫米左右。它是集成电路和太阳能电池元件的基础材料,主要分为单晶硅、多晶硅和非晶硅三类,其中以单晶硅最为常见。硅片被广泛应用于集成电路、太阳能电池、LED、制作微机械系统(MEMS)、传感器和微型通讯设备等领域;