镀膜台阶玻璃是一种在“台阶结构”表面实施光学镀膜的特殊玻璃元件，既保留台阶本身的定位、密封、杂散光抑制功能，又通过膜层赋予其减反射、滤光、高反、分光等附加性能，广泛应用于激光谐振腔、真空窗口、航空航天光学、生物成像等高端场景。以下从结构、镀膜工艺、性能优势和典型应用四方面进行介绍。
1. 台阶结构特点多台阶一次性加工：利用 CNC 或成型模具在玻璃表面加工出 2–10 级台阶，每级高度差可控制在 0.05 mm，兼顾定位与光束管理。
大深宽比：台阶深宽比可达 1:1，利于多片堆叠错位镀膜，节省治具空间并提升产能。
高精度面形：经抛光后表面平整度 <λ/10（λ=632.8 nm），平行度 <10″，满足干涉级光学要求。
2. 镀膜工艺低温硬膜技术：采用离子束溅射（IBS）或磁控溅射，在 80–200 ℃完成镀制，避免热变形，膜层致密。
多层台阶覆盖：通过工件自转+靶材角度优化，实现台阶侧面与根部厚度均匀性 ≥95%，解决传统蒸发镀“阴影”缺陷。
可选膜系：
减反射膜：单面 Ravg<0.5%，双面 Ravg<0.3%，提升透射激光功率。
高反膜：1064 nm 处反射率 >99.9%，用于激光谐振腔尾镜。
长/短波通滤光膜：陡度 <1%，隔离泵浦光与信号光。
金属化膜：Cr-Au 或 Ti-Pt-Au，可焊接封装，气密性 <1×10⁻⁹ Pa·m³/s。