废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
ITO靶材回收流程:
1. 收集废靶材:收集来源:面板厂、镀膜厂等使用ITO靶材的企业。
2. 表面处理/预处理 :清洗表面杂质、油污、物理去除残留膜层
3. 靶材分离:机械切割或分解、分离金属基板与ITO涂层
4. 湿法冶金回收:用酸(如硝酸、盐酸等)溶解ITO层、萃取液中回收铟和锡元素
5. 纯化与精炼 萃取、沉淀等精细化学手段,获得高纯度的铟、锡化合物
6. 再利用 提纯后的铟、锡用于制备新ITO靶材或其他用途
ITO靶材回收市场需求持续增长,尤其在显示面板和光伏行业。铟价高企,促使更多企业关注废靶材的回收利用。随着技术进步,回收工艺趋于环保。
常见问题答疑:
1. 废靶材回收价格如何计算?
主要根据靶材剩余铟锡含量、市场行情、回收工艺等因素浮动。
2. 回收的铟锡纯度能否满足再次制靶需求?
取决于回收及精炼工艺,多数高品质回收企业可将纯度提升至制靶要求。
3. 回收周期多久?
一般为12周,具体视回收量和工艺流程而定。
氧化铟锡(ITO)靶材广泛应用于平板显示器和太阳能电池的生产,在ITO目标使用了一段时间后,将其替换为新的目标,用过的ITO靶含有大量的铟,可以通过各种工艺回收。