ITO靶材的回收流程通常包括以下几个步骤：

1. 收集与分类：将废旧ITO靶材进行收集，并根据其种类、纯度等进行分类。

2. 破碎与研磨：将分类后的靶材进行破碎和研磨，使其变成粉末状，便于后续处理。

3. 化学分离：采用化学方法将粉末中的铟、锡等元素进行有效分离。

4. 提纯与精炼：对分离出的铟、锡等元素进行提纯和精炼，得到高纯度的金属产品。

5. 再加工：将提纯后的金属产品加工成新的靶材或其他产品，实现资源的循环利用。

铟靶材回收是资源循环的关键：全球铟储量有限，ITO靶材回收可节约稀有金属、减少污染。专业企业通过破碎、化学分离等流程提取高纯度铟，价格随市场波动。环保的回收技术正推动行业可持续发展。

值得注意的是，苏州的回收企业特别注重技术创新。部分已研发出等离子体熔炼等新型处理工艺，使能耗降低30%的同时，进一步提升了金属回收率。这些技术突破不仅巩固了苏州在全国ITO回收领域的地位，更为"双碳"目标的实现贡献了产业力量。

在实际生产中，采用蒸馏法分离铟、锡时，可考虑采用微负压系统进行产业化生产的升级改进。通过改善工艺条件和调整技术参数等，以充分的降低能耗，并获得更好的铟、锡分离效果，这也是今后产业化试验研究的主要方向。