铟靶是指以铟为主要成分的溅射靶材,是一种在材料表面镀膜过程中用于提供铟源的材料。在真空溅射镀膜工艺中,铟靶材在高能粒子的轰击下,铟原子被溅射出来并沉积在基底材料表面,形成所需的铟薄膜。
主要成分:通常由 90% 的氧化铟(In₂O₃)和 10% 的氧化锡(SnO₂)组成,这一比例在实际应用中能实现透明性和导电性的理想平衡。
外观特性:在靶材形态下,颜色通常为浅黄色至浅绿色,而制成薄膜后则具有透明性。
物理化学性能
物理性质:
密度:7.31 g/cm³,熔点 156.6℃,沸点 2080℃,常温下可弯曲而不碎裂。
导电性:电导率约 1.1×10⁷ S/m,仅次于银、铜,适用于高频电子元件。
化学性质:
常温下在空气中稳定,加热至 100℃以上会氧化生成 In₂O₃;可溶于强酸(如盐酸、硫酸),但在碱中稳定性较高。
合金与特殊材料(占比约 10%):
铟锡合金:熔点低至 120℃,用于保险丝、牙科材料;铟铅合金可作为核反应堆的中子吸收材料。
铟箔与涂层:高纯铟箔用于真空密封、辐射屏蔽(如 X 射线探测器),或作为耐腐蚀涂层(如海洋工程)。
科研与新兴领域:
量子点显示、钙钛矿电池、柔性电子器件等前沿技术中,精铟作为高纯原料用于薄膜沉积或材料合成。