半导体领域:占比 28%,用于晶圆制造的金属互联层与钝化层沉积,在第三代半导体器件制造中的渗透率持续攀升,如氮化镓功率器件就需要使用铟靶。
超高密度成型:超高密度成型工艺(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空溅射过程中的稳定性和使用寿命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技术能够控制铟靶的晶粒尺寸和方向,提升溅射薄膜的质量和性能,满足高端应用领域的需求。
物理化学性能
物理性质:
密度:7.31 g/cm³,熔点 156.6℃,沸点 2080℃,常温下可弯曲而不碎裂。
导电性:电导率约 1.1×10⁷ S/m,仅次于银、铜,适用于高频电子元件。
化学性质:
常温下在空气中稳定,加热至 100℃以上会氧化生成 In₂O₃;可溶于强酸(如盐酸、硫酸),但在碱中稳定性较高。
靶材原料(占比约 60%):
用于制备 ITO(氧化铟锡)靶材,生产 LCD、OLED 显示面板的透明导电膜(如手机屏幕、电视面板)。
光伏领域:作为 CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池的关键原料,提升光电转换效率。