2L等离子清洗机,石英腔体洁净度高,前面留有直径50mm观察窗,触摸屏控制人机界面。
等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。
1、可以更灵活地操作,简便地改变处体的种类和处理程序。
2、不会对人员的身体造成任何伤害。
3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
2L等离子清洗机KT-S2DQX
供电电源
AC220V(AC110V可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率
150W
射频频率
13.56MHz
频率偏移量
<0.2MHz
特性阻抗
50欧姆,手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤100Pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径
Φ65
气体流量
10—100ml/min(其他量程可选)
过程控制
过程手动控制
清洗时间
手动开关
开盖方式
铰链侧开式法兰
外形尺寸
400x380x360mm
重量
23Kg
真空室温度
小于65°C
冷却方式
强制风冷
标配
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。