1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构

机械泵+分子泵（国产或进口可选）， 极限真空优于8*10-5Pa（设备空载抽真空24h），大气~8*10-4Pa≦30min；采用电阻电离一体化真空规管读取真空度；阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀

蒸发源采用3组水冷铜电极，蒸发电源采用2KW逆变式电源，配源间防污隔板

可拆卸式，尺寸60*60mm，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃，可选水冷或是带角度调节功能的基片台

可选配进口或国产膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚

PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空

L60cm×W60cm×H96cm 机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口