场发射扫描电子显微镜技术参数：
放大倍数：30倍-80万倍
加速电压：0.5-30kKV
点分辨率：1.0nm (15 kV)； 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式)
信号选择：二次电子模式和背散射模
样品台直径：50mm
倾转角：T: -5-70°,R:360°
X射线能谱仪元素分析范围：B5～U92
X射线能谱仪能量分辨率：130 eV
应用范围：
SU8020是日立SU8000系列超高分辨率场发射扫描电镜，拥有的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面，使它能够和清楚地捕捉短暂的瞬间。 仪器采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能，提高了图像质量，尤其是将低加速电压下的图像质量提高到了新的水平；其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；还选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测，同时配备有高性能的HORIBA EX-350，可同时进行微区、亚微区成分定性和定量以及元素分布分析。
形貌分析：
通过形貌分析可获得样品的形貌、粒径、分散性等相关信息，同时还可通过专用的背散射探头对金属、陶瓷样品的质厚衬度像进行进一步的表征，可用于纳米材料、金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观 察，同时还可对材料断口和失效模式进行分析。
成分分析：
微区成分分析，通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析，可确定样品的组成。可选择性的对样品进行能谱点测、能谱线扫、能谱面分布分析，获得样品中的元素在一个点、一条线、一个面上的分布情况。