1、有机废气经过滤器除去固体颗粒物质，由上而下进入吸附罐，有机物被活性炭捕集、吸附并浓缩，净化的空气从罐体下部经主风机排入大气。
2、解吸 当活性炭吸附有机物达到饱和状态后，停止吸入有机废气。通过活性炭床向上送入蒸汽进行吹脱，将有机物自活性炭中逐出，即解吸。
3、热风干燥及冷却： 用蒸汽解吸后的活性炭层中，约留有80～90%的蒸汽凝液，填充了活性炭内孔，从而降低了炭层的活性。因此，通入热空气对炭层进行干燥。然后关闭蒸汽阀门，再通入常温空气，冷却至25℃左右，活性炭恢复如初，以备再循环使用。4、有机溶剂回收： 利用有机溶剂露点温度较高的特点，将蒸汽和有机溶剂的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液经疏水阀进入分离器，利用溶剂比水轻的特点，分离回收。
5、凝水净化： 为保证冷凝水的洁净，避免有机溶剂的凝水排入水体，在分离器内分离后的水中通入压缩空气，使水中有机溶液剂充分解脱。被压缩空气逐出的含有机物空气折返废气系统，重新吸附。净化后的冷凝水，排入下水道。