激光器特点
l长期工作稳定性高
lRS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l支持PWM功率控制
lLD模块可现场更换
lTEM00基模输出（M2<1.3）
l体积小，结构紧凑
l重复频率30kHz-100kHz可调
应用范围
l薄膜蚀刻
l材料微加工
l微孔加工
l晶圆切割
l科学研究等
l激光标记
技术参数
型号
RM355Q-3W
波长
355nm
功率
3W@30KHz
单脉冲能量
100μJ@30kHz
频率
30~100kHz
脉宽
<20ns@30KHz
光斑模式
TEM00(M2<1.3)
光束直径
0.5±0.1mm
功率稳定性
<3% RMS over 8 hours
脉冲稳定性
<3% RMS over 10mins
光点稳定性
<50μrad
光束发散角
<2mrad (full angle)
光斑圆度
>90%
控制方式
RS232, Gate, Trigger
制冷方式
Air-cooling
偏振方向
Horizontal
偏振比
>100:1
环境温度
15°C ~ 35°C
相对湿度
10% ~ 80%（无结露）
预热时间
<15mins
工作电压
90V ~ 260V