催化燃烧是典型的气—固相催化反应，实质是利用催化剂的深度催化氧化活性将有机物质(VOCs等)在燃点以下的温度(200-400℃)与氧气反应生成CO2、N2和H2O(反应在固体催化剂表面进行，吸附作用使有机分子富集而提高了反应速率；催化剂降低了反应的活化能，使有机废气在较低的起燃温度下进行无焰燃烧)以下是关于该催化燃烧技术的工艺流程介绍。
根据废气预热方式及富集方式，催化燃烧工艺流程可分为预热式、自身热平衡和吸附-催化燃烧三种。
1、预热式当有机废气温度(100℃以下)和浓度较低时在进入反应器前，先在预热室加热升温，燃烧净化后气体在热交换器内与未处理废气进行热交换，以回收部分热量。
2、自身热平衡当有机废气温度高于起燃温度且有机物含量也高时通过热交换器回收部分净化气体产生的热量，不需补充热量，只需设置用于起燃的电加热器。
3、吸附-催化燃烧当有机废气流量大、浓度低、温度低，采用催化燃烧还需耗大量燃料时可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上进行浓缩，然后再经热空气吹扫，使有机废气脱附出来，成为浓缩的高浓度有机废气，再催化燃烧。浓缩有机废气可实现自身热平衡运转，无需外界补充热源。