真空变压制氧设备，是利用沸石分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，未被吸附的氧气则被富集为产品气输送至氧气储罐。当工作塔吸附氮气、二氧化碳和水等近饱和时，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸再生；另一塔则开始工作。两只吸附塔循环进行吸附、均压、解吸、真空等过程，从而连续从空气中制取氧气。

真空变压吸附制氧设备特点：

1、设备自动化程度高，可实现无人操作。

2、能耗比较低。产氧量越大，能耗越低。

3、设备启动时间快，可靠性好，运行成本低。

4、投资省，占地面积少。

5、适合于中大型产量。

设备组成：

鼓风机、真空泵、吸附系统、仪控系统、温控系统、电控系统、氧气增压系统。