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NIDEK高精度平坦度测试仪FT-17晶片平坦度检测仪

价格:100000 2020-10-08 04:06:01 396次浏览

工厂出售一台8成新2010年仪器NIDEK平坦度测试仪FT-17

NIDEK FT-17平坦度测试仪功能简介

一,FT-17是∮130mm以下各类晶片平坦度测试装置,该装置采用激光斜射干涉技术

二,可设定1,2,3,4,5μm/fringe的干涉条纹。

三,接入标准的解析装置,以表示各类晶片的平面度。测定结果,可用各种测定值,等高线图,俯视图,断面图等图表示。

四,无须校准

五,以专用解析装置控制程序使操作变得容易

NIDEK FT-17平坦度测试仪技术参数

1,测定方法:光波干涉方法(倾斜入射)

2,光源:半导体激光(655nm,3mw)

3,样片尺寸:∮130mm以下,但是平坦度在∮100mm以下

4,样片厚度:2000um以下(平坦度测定250um-1000um以下)但是承受台10mm、其他厚度请以其他方式商谈

5,样片的种类:晶片(硅、化合物、酸化物、玻璃)金属片、磁碟(铝、玻璃)模具等镜面及非镜面(除反射率低的非镜面)

6,样片的倾斜角度:比垂直向前倾斜8度

7,干涉计设定感度:1,2,3,4,5μm/线距

8,测定范围:线距感光的30倍(线距状况、有比镜片尺寸等30倍以下的场合)

9,摄像光学比:3倍以上

10,电源:AC100V

Nidek高精密平面度检测仪,适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

测试项目

吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附:BOW、SORI、整体应力、局部应力

可测试晶片种类

切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片

可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等

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