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三坐标测量机是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三次元。

系统各部分构成及技术参数

测量范围：X700mm Y：800mm Z：500mm

分辨率：0.4μm

示值精度：E3 = （3.5 + L/250） μm （L单位:mm）

探测误差：R = 3.8μm

机台承重：500kg

整机重量：800kg

台面可用尺寸：1220 mm X 890mm

操作方式：手动推拉升降＋手轮微调

传动方式：光杆轴承机构＋气浮导轨

示值系统：自粘开放式金属反射光栅尺

工作机台：高精度花岗岩平台（00级）

导轨型式：高精度导轨＋预载荷高精度空气轴承

设备使用环境条件及工作时间

机室温度： 20℃±2℃

机室温度梯度： 1℃/m，1℃/h，2℃/d

机室湿度：60%±5%

供气压力：﹥0.5MPa

空气流量：160 L/min

振动频率范围： 0-19Hz 19-75Hz >75Hz

振动振幅： 0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm

电压：220V±10%

频率：50-60HZ

电流：15A

耗电量：＜800W

备注：用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆