催化净化是典型的气固相催化反应，其实质是活/氧参与的深度氧化作用。在催化净化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行;借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的有害物的方法。
在将废气进行催化净化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化燃烧所需要的起始温度。经过预热的废气，通过催化剂层使之燃烧。由于催化剂的作用，催化燃烧法废气燃烧的起始温度约为250～300摄氏度，大大低于直接燃烧法的燃烧温度650～800摄氏度，高温气体再次进入热交换器，经换热冷却，最终以较低的温度经风机排入大气。
蓄热式燃烧设备是一种用于处理中高浓度的挥发/有机废气的节能环保装置，由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。蓄热床底部的自动控制阀分别与进气总管和排气总管相连，蓄热床通过换向阀交替换向，将由燃烧室氧化来的高温气体的热量蓄留，并预热进入蓄热床的有机废气；预热到一定温度（约760~850℃）的有机废气在燃烧室发生氧化反应，生成二氧化碳和水，得到有效净化。
RTO在燃烧过程中，需要保持一定的废气浓度以保持热量的蓄存和传导，因此，RTO较为适合处理小风量，中高浓度的VOCs废气。大风量、低浓度的废气可通过活/炭吸附脱附或者沸石转轮浓缩装置处理为小风量、中高浓度的废气。在选择工艺的过程中，由于废气风量较小、浓度较高，多数都是有机废气，部分含有酸碱/成分，因此，RTO应用在废气治理中，应先过滤或者洗涤，以去除废气中的粉尘以及腐蚀/气体，然后再进入RTO燃烧，燃烧完毕的高温尾气可通过热交换器进行余热回收利用。部分VOCs气体在RTO治理工作中，会生成，但是，850℃以上的环境中可以分解。因此，在设计炉的过程中，只需将燃烧温度控制在850℃以上，持续时间为1~2s即可。此反应破坏苯环，为不可逆反应，不会造成二次污染。
RTO运行原理主要为：建立专门的热氧化炉，使其可以具备一定的蓄热能力，对有机废气进行专业处理，使有机废气在高温环境中被分解，以达到相关环保标准，将其排放到空气中。在应用RTO方式的过程中，需要设置两个固定形式的热交换媒介床，利用具有蓄热优势的陶瓷材料对其进行制作，以便于开展有机废气治理工作。有机废气在经过一个陶瓷媒介床之后，会出现加热的现象，在热交换的情况下，另一个媒介床也会出现加热的现象，且热交换率可以达到96%。同时，在应用氧化炉设备的过程中，其具备一定的自我维持能力，不需要任何燃料就可以维持问题，提高其工作效率。
废气由系统风管引入预过滤器，脱除气体中漆雾和粉尘的前处理装置。除去雾漆粉尘的有机废气进入吸附净化设备，干净的尾气由风机出口至烟囱排放。用欠氧热空气对吸附饱和后的净化设备进行脱附再生，脱附下来的高浓度有机废气经换热器进入催化燃烧系统进行催化燃烧，生成CO2和H2O，并放出热量，此热空气与脱附下来的废气进行换热，使此气体达到催化燃烧的启燃温度。依次类推，循环进行。
本产品利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：、氨、、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO、H2O等。