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l 差压原理，具有防爆认证
l 量程范围：从0-0.5SCCM到0-4000SLPM
l 压力范围：1MPa
l 响应时间：流量计10ms/控制器100ms
l 精度：±（0.8％读数+0.2％满量程）
l 可选±（0.4％读数+0.2％满量程）
l 认证：ATEX、CSA，Class 1Division 2
