在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa）1.0006。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。
用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。